Hochreine Fluorpolymere & SEMI F57
Convena Polymers unterstützt bei der Auswahl hochreiner Fluorpolymere für Reinstwasser- (UPW) und Flüssigchemikalien-Verteilungssysteme in der Halbleiterfertigung. Für anwendbare Werkstoffe können wir typspezifische und chargenbezogene SEMI-F57-Prüfunterlagen auf Anfrage bereitstellen.
Hochreine Fluorpolymere für die Halbleiter-Medienführung
Hochreines PFA und PTFE werden für Schläuche, Ventile, Fittings, Behälter- und Rohrleitungsauskleidungen sowie andere medienberührte Komponenten eingesetzt, bei denen Chemikalienbeständigkeit, geringe extrahierbare Stoffe und reproduzierbare Materialeigenschaften entscheidend sind. Die Werkstoffauswahl muss auf Typ, Herstellweg, Medium und Einsatzbedingungen beruhen.
Hochreines PFA
Schmelzverarbeitbares PFA für Chemikalienleitungen, Platten und Ventilauskleidungen. Besprechen Sie NEOFLON™ PFA und weitere geeignete hochreine Typen mit unserem Team.
Hochreines PTFE
PTFE für anspruchsvolle Halbleiterkomponenten, einschließlich pastenextrudierter Schläuche, pressgeformter Bauteile und weiterer hochreiner Anwendungen.
Was „nach SEMI F57 geprüft“ bedeutet
SEMI F57 ist eine Spezifikation für hochreine Polymerwerkstoffe und Komponenten in Reinstwasser- und Flüssigchemikalien-Verteilungssystemen. Eine SEMI-F57-Prüfaussage gilt nur für den im jeweiligen Analysebericht benannten Werkstofftyp, die geprüfte Charge und den Prüfkörper. Sie ist keine pauschale Qualifizierung für jeden Typ einer Produktfamilie oder jedes Fertigbauteil.
| Spezifikation und Methoden | SEMI F57, ergänzt durch SEMI F40 für Probenvorbereitung und analytische Verfahren sowie SEMI F104 für die Messung des Partikelbeitrags. |
|---|---|
| UPW-Extraktion | Exposition der Probe in Reinstwasser bei +85 °C über 168 Stunden (7 Tage). |
| Metallische Spurenverunreinigung | Auslaugbare Metalle: 22 Elemente, darunter Fe, Cu, Ni, Zn, Na und Ca; angegebener Grenzwert ≤ 5 µg/m². |
| Ionenverunreinigung | Auslaugbare Anionen und Kationen: acht Ionenspezies, darunter F⁻, Cl⁻, NO₃⁻ und SO₄²⁻. |
| Weitere berichtete Kriterien | Gesamter organischer Kohlenstoff (TOC), Partikelbeitrag zu UPW und Rauheit der benetzten Oberfläche (Ra). |
Typfamilien zur Berichtsprüfung
| Polymer | Typfamilien zur Berichtsprüfung |
|---|---|
| PFA | Chemours Teflon™ PFA 440HP, 450HP und 951HP Plus; Daikin NEOFLON™ PFA AP-231SH und AP-230HP; Solvay Hyflon® PFA P7010 und M620 |
| PTFE | Dyneon™ / 3M PTFE TF 1610, TFM 1600 und TFM 1705G; ausgewählte hochreine PTFE-Typen von Gore / Chemours |
| PVDF | Arkema Kynar® 740, 1000 HD und UHM; Solvay Solef® 1010 und 6010 |
| PP / HP-PP | Ausgewählte hochreine PP-H-Typen von Borealis / LyondellBasell für Fluidsysteme |
Dokumentation und Unterstützung bei der Qualifizierung
Für den jeweils geprüften Werkstoff ist ein SEMI-F57-Compliance- bzw. analytischer Prüfbericht mit Labor, Prüfdatum, Berichtsnummer, geprüftem Typ und Charge auf Anfrage erhältlich. Fragen Sie nach aktuellem TDS, SDS, Prüfinformationen und den Unterlagen für Ihren Qualifizierungsprozess.
Häufige Fragen
Ist PFA für Halbleiteranwendungen geeignet?
Liefert Convena nach SEMI F57 geprüfte Materialien?
